Описание:
Высокоразрешающие кремниевые АСМ кантилеверы серии CSG10/Au предназначены для проводящих методик. Типичное значение резонансной частоты - 22 кГц (гарантированный диапазон: 8-39 кГц), типичное значение силовой константы - 0.11 Н/м (гарантированный диапазон: 0.01-0.5 Н/м). Кантилеверы имеют Au отражающие покрытие для увеличения сигнала лазера. Зонды упакованы в коробки по 15 штук и по 50 штук. Указанные цены включают в себя скидку на объём.
Чип кантилевера:
- Стандартный размер чипа: 1.6x3.4x0.3 мм.
- Имеет форму трапеции в сечении.
- Высококачественное химически стабильное Au покрытие с отражающей стороны (отражение в 3 раза лучше, чем у непокрытых зондов).
- Совместимы с оборудованием различных АСМ производителей.
- Кремний легирован, чтобы избежать электростатического заряда.
Балка кантилевера
- Имеет прямоугольную форму
- В сечении представляет собой форму трапеции.
- Ширина балки с отражающей стороны дана в спецификации.
- Применима для работы в контактном, бесконтакном/полуконтакном режимах. .
- Игла расположена на расстоянии 5-20мкм от свободного конца балки.
Игла кантилевера
- Общая форма иглы - тетраэдр, кончик иглы имеет форму конуса на последних 500нм от кончика
- Высота иглы: 14 – 16 мкм.
- Типичный радиус закругления: непокрытой иголки 6нм, гарантированно 10нм, покрытой иглы 35nm.
- Расстояние от края балки до центра иглы: 5 - 20 мкм.
- Аспектное соотношение: 3:1 – 7:1.
- Угол переднего плана (Front plane angle): 10°±2°.
- Угол заднего плана (Back plane angle): 30°±2°.
- Половина угла бокового плана (Side angle (half)): 18°±2°.
- Угол при вершине иглы: 7° - 10°.
Технические характеристики:
Серия кантилевера |
Длина балки, L±10мкм |
Ширина балки, W±5мкцм |
Толщина балки, T±0.5мкм |
Резонансная частота, кГц |
Силовая константа, Н/м |
min |
typical |
max |
min |
typical |
max |
CSG10/Au |
225 |
47.5 |
1.25 |
8 |
22 |
39 |
0.01 |
0.11 |
0.5 |