Описание
Информация о теплофизических свойствах материалов и оптимизации теплопередачи конечных продуктов становится все более важной для промышленного применения.
За последние несколько десятилетий метод вспышки превратился в наиболее часто используемый метод измерения коэффициента диффузии тепла и теплопроводности различных видов твердых веществ, порошков и жидкостей.
Теплофизические свойства тонких пленок становятся все более важными в таких отраслях промышленности, как оптические диски с фазовым переходом, термоэлектрические материалы, светоизлучающие диоды (LED), запоминающие устройства с фазовым переходом, плоские дисплеи и, конечно, все виды полупроводников.
Во всех этих случаях на подложку наносится тонкая пленка, чтобы придать устройству определенную функцию. Поскольку физические свойства этих пленок отличаются от свойств сыпучего материала, эти данные необходимы для точных прогнозов терморегулирования.
Основанный на хорошо зарекомендовавшей себя технологии лазерной вспышки, Linseis Laserflash for thin films (TF-LFA) теперь предлагает целый ряд новых возможностей для анализа теплофизических свойств тонких пленок толщиной от 80 нм до 20 мкм.
Методы
1. Высокоскоростной метод лазерной вспышки (обнаружение заднего фронта нагрева (RF)):
Поскольку тепловые свойства тонких слоев и пленок значительно отличаются от свойств соответствующего объемного материала, требуется технология, преодолевающая ограничения классического метода лазерной вспышки: “Метод высокоскоростной лазерной вспышки”.
Геометрия измерения такая же, как и при стандартном методе лазерной вспышки: детектор и лазер находятся на противоположных сторонах образцов. Поскольку ИК-детекторы должны работать медленно при измерении тонких слоев, обнаружение осуществляется с помощью так называемого метода термоотражения. Идея, лежащая в основе этого метода, заключается в том, что как только материал нагревается, изменение коэффициента отражения поверхности может быть использовано для определения тепловых свойств. Отражательная способность измеряется с учетом времени, и полученные данные могут быть сопоставлены с моделью, которая содержит коэффициенты, соответствующие тепловым свойствам.
2. Метод термоотражения во временной области (обнаружение фронта переднего нагрева (FF)):
Метод термоотражения во временной области - это метод, с помощью которого измеряются тепловые свойства (теплопроводность, коэффициент температуропроводности) тонких слоев или пленок. Геометрия измерения называется “обнаружение фронта переднего нагрева (FF)”, поскольку детектор и лазер находятся на одной стороне образца. Этот метод может быть применен к тонким слоям на непрозрачных подложках, для которых радиочастотный метод не подходит.
3. Комбинированный метод высокоскоростной лазерной вспышки (RF) и термоотражения во временной области (FF):
Конечно, оба метода также могут быть реализованы в единой системе, чтобы объединить преимущества обоих.
Технические характеристики
МОДЕЛЬ |
TF-LFA* |
Диапазон температур: |
RT RT до 500°C -100°C до 500°C |
Скорость нагрева и охлаждения: |
0,01 до 20°C/мин |
Накачка-лазер: |
Nd: YAG-лазер |
Максимальный импульсный ток: |
90 МДж/импульс (с программным управлением) |
Ширина импульса: |
5 нс (опционально 1 нс) |
Зонд-лазер: |
НЕПРЕРЫВНЫЙ DPSS-лазер (473 нм), макс. 50 МВт |
Фотоприемник: |
Si-PIN-фотодиод, активный диаметр: 0,8 мм, полоса пропускания постоянного тока... 400 МГц, время нарастания: 1нс |
Диапазон измерения коэффициента теплопроводности: |
от 0,01 мм2/с до 1000 мм2/с |
Диаметр образца: |
круглые образцы ≈ 10...20 мм |
Толщина образца: |
80 нм до 20 мкм |
Атмосферы: |
инертные, окисляющие, восстанавливающие |
Вакуум: |
до 10E-4 мбар |
Электроника: |
Интегрированный |
Интерфейс: |
USB |
*Технические характеристики зависят от конфигурации